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사양 1: 순도 ≥99.5%, 총 금속 불순물 ≤500ppb
사양 2: 순도 ≥99.9%, 단일 금속 불순물 ≤10ppb
| Name | Imidazo[4,5-d]Imidazole-2,5(1H,3H)-dione, tetrahydro-1,3,4,6-tetrakis(methoxymethyl)-3a-methyl-6a-phenyl- |
| CAS 번호 | 721969-01-3 |
| 분자식 | C₁₉H₂₈N₄O₆ |
| 구조식 | ![]() |
| 응용 분야 | 반도체 재료, 포토레지스트, ArF 및 KrF 포토레지스트 분야에 적용됩니다. |
| 순도 | 등급 1: ≥99 |
| %등급 2: ≥99%, 총 금속 불순물 ≤50 ppb | |
| 포장 사양 | kg/포대, 25 kg/드럼 |
반도체 및 포토레지스트 분야에서, 이 물질은 첨단 노드 칩 제조용 ArF 및 KrF 포토레지스트 배합에서 초고순도 가교제로 전용으로 사용됩니다.
Q1: ArF/KrF 포토레지스트용으로 어떤 초고순도 등급이 제공됩니까?
A: 두 가지 사양: ≥99.5% (총 불순물 ≤500ppb) 및 ≥99.9% (단일 금속 ≤10ppb).
Q2: 미량 금속 분석에는 어떤 분석 기기가 사용됩니까?
A: 고감도 ICP-MS가 전 원소 미량 금속 분석에 사용됩니다.
Q3: NDA 체결 후 샘플을 요청하는 방법은 무엇입니까?
A: NDA 체결 후 초고순도 포토레지스트 샘플이 영업일 기준 5일 이내에 발송됩니다.
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