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사양 1: 순도 ≥99.5%, 총 금속 불순물 ≤500ppb
사양 2: 순도 ≥99.9%, 단일 금속 불순물 ≤10ppb
| Name | N,N,N′,N′-Tetrakis(butoxymethyl)urea |
| CAS 번호 | 43539-97-1 |
| 분자식 | C₂₁H₄₄N₂O₅ |
| 구조식 | ![]() |
| 응용 분야 | 반도체 재료, 포토레지스트, ArF, KrF |
| 순도 | 등급 1: 순도 ≥99.5%, 총 불순물 ≤500ppb 등급 2: 순도 ≥99.9%, 단일 금속 불순물 ≤10ppb |
| 포장 사양 | 20kg/드럼, 25kg/드럼 |
반도체 마이크로일렉트로닉스 분야에서 고급 포토레지스트와 초미세 ArF·KrF 리소그래피용 독점 코어 가교제로 사용되며, 초저 미량 금속 잔류가 특징입니다.
Q1: 고급 포토레지스트에서 금속 불순물은 얼마나 낮습니까?
A: 최고 등급 사양은 단일 금속 ≤10ppb, 총 불순물 ≤500ppb를 달성합니다.
Q2: 어떤 용기 크기가 제공됩니까?
A: 전용 20kg 및 25kg 초청정 전자급 드럼이 제공됩니다.
Q3: 전체 ICP-MS 원소 분석 보고서를 첨부할 수 있습니까?
A: 전자급 출하 제품에는 포괄적인 ICP-MS 미량 원소 보고서가 포함됩니다.
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